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RESM/REST圓光柵

2023-05-16 11:23:34

雷尼紹光柵&激光干涉儀-RESM/REST圓光柵刻劃精度達到±0.38角秒，柵距20μm/40μm，圓光柵直徑52～550 mm，讀數(shù)頭兼容性VIONiC、TONiC、TONiC UHV、TONiC FS、QUANTiC；REXM20/REXT20圓光柵，安裝精度最高達±1角秒（雙讀數(shù)頭），柵距20μm，圓光柵直徑52～417mm，讀數(shù)頭兼容性VIONiC、TONiC、TONiC UHV。

詳細信息

雷尼紹光柵&激光干涉儀-RESM/REST圓光柵
刻劃精度達到±0.38角秒，柵距20μm/40μm，圓光柵直徑52～550 mm，讀數(shù)頭兼容性VIONiC、TONiC、TONiC UHV、TONiC FS、QUANTiC；REXM20/REXT20圓光柵，安裝精度最高達±1角秒（雙讀數(shù)頭），柵距20μm，圓光柵直徑52～417mm，讀數(shù)頭兼容性VIONiC、TONiC、TONiC UHV。

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